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제품정보

Chemical제거필터

반도체공정 내의 각각의 필터 및 시스템을 제공합니다.

반도체필터 Chemical filter Chemical filter 노광장치용필터시스템및필터 POU필터
 
커서를 이미지 위에 놓으면 세부 정보를 표시합니다.

Filter for Lithoguard Cabinet

반도체 제조공정의 클린룸 전체나 기기, 또는 국소적으로 특정 작업환경의 공기를 여과하는 고성능의 필터입니다.

  • Lithoguard(BMS Max)필터

    Lithoguard(BMS Max) Filter

    당사 Lithoguard 시리즈에 들어가는 Chemical Filter입니다. 활성탄을 다시 채워 사용할 수 있습니다.(Refill type)

Lithoguard Cabinet

KrF 엑시머 레이저와 ArF 엑시머 레이저와 같은 고성능 Lithograph 공정에서 엄격한 Chemical control이 요구되는 환경에 적합한 시스템입니다.

  • Lithoguard 12 Cabinet

    Lithoguard 12 Cabinet

    LG12시스템과 탑재한 필터는 산성가스, 휘발성가스, 응축성유기물질, 유해입자를 효과적으로 제거하는 장치입니다.

In-line Chemical Filters

  • Point-of-Use(POU) Filter

    Point-of-Use(POU) Filter

    고순도의 공기환경이 필요한 공정의 압축공기여과에 최적입니다.

    ・리소그래피공정(반도체/FPD)

    ・레이저어닐링 시스템

    ・엑시머레이저, 옵티컬시스템

    ・레이저 공정장비

    ・레이저 측정장비

    ・실험용, 테스트벤치용(가스분석 및 전기자동차배터리용)

    ・기타공정(Purging, Dry-up, etc.)

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